|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38829270000 |
| 005 |
20170510104556.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 55 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-9799]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071022d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры
$f В. Е. Власов, В. П. Захаров, А. И. Коробов
$g Под ред. А. И. Коробова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 156, [1] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 153-156 (81 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 8000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Качество
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.001.63+621.382.049.77.002]:658.62.018
|
| 700 |
# |
1 |
$a Власов
$b В. Е.
$g Владимир Евгеньевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Захаров
$b В. П.
$g Вадим Петрович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Коробов
$b А. И.
$g Анатолий Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071022
$g psbo
|
