Проекционная рентгеновская литография

Сохранено в:
Шифр документа: 200079,
Вид документа: Книги
Автор: Виноградов, А. В.
Опубликовано: М. , 1987
Физические характеристики: 36 с.
Язык: Русский
Серия: Препринт. Оптика и спектроскопия № 104
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr38724490000
005 20180216095519.0
010 # # $d Б. ц. 
021 # # $a RU  $b [87-47331] 
100 # # $a 20071022d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Проекционная рентгеновская литография 
210 # # $a М.  $d 1987 
215 # # $a 36 с. 
225 2 # $a Препринт. Оптика и спектроскопия  $f Сектор теорет. квант. радиофизики  $f АН СССР, Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева  $v № 104 
300 # # $a Библиогр.: с. 32-33 (20 назв.) 
345 # # $9 100 экз. 
675 # # $a 621.383.049.77 
700 # 1 $a Виноградов  $b А. В. 
701 # 1 $a Зорев  $b Н. Н. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071022  $g psbo