|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr38638470000 |
005 |
20210318100239.0 |
010 |
# |
# |
$a 5-06-001078-3
$d 10 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-6456]
|
100 |
# |
# |
$a 20071022d1990 y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Лазерная технология в производстве интегральных микросхем
$e [Учеб. пособие для ПТУ]
|
210 |
# |
# |
$a М.
$c Высш. шк.
$d 1990
|
215 |
# |
# |
$a 54, [2] с.
$c ил.
$d 21 см
|
345 |
# |
# |
$9 12400 экз.
|
610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Лазерная обработка
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.7/.9.048.7:621.373.826(075.32)
|
686 |
# |
# |
$a 32.844.1-06я722
$2 rubbk
|
700 |
# |
1 |
$a Верховский
$b Е. И.
$g Евгений Ильич
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071022
$g psbo
|