Лазерная технология в производстве интегральных микросхем: [Учеб. пособие для ПТУ]

Сохранено в:
Шифр документа: 341986, 350912,
Вид документа: Книги
Автор: Верховский, Е. И.
Опубликовано: М. : Высш. шк. , 1990
Физические характеристики: 54, [2] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr38638470000
005 20210318100239.0
010 # # $a 5-06-001078-3  $d 10 к. 
021 # # $a RU  $b [90-6456] 
100 # # $a 20071022d1990 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Лазерная технология в производстве интегральных микросхем  $e [Учеб. пособие для ПТУ] 
210 # # $a М.  $c Высш. шк.  $d 1990 
215 # # $a 54, [2] с.  $c ил.  $d 21 см 
345 # # $9 12400 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Лазерная обработка 
675 # # $a 621.382.049.77.002:621.7/.9.048.7:621.373.826(075.32) 
686 # # $a 32.844.1-06я722  $2 rubbk 
700 # 1 $a Верховский  $b Е. И.  $g Евгений Ильич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071022  $g psbo