Процессы атомной диффузии при неравновесном состоянии компонентов дефектно-примесной системы кристаллов кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Величко Олег Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 48395/88СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Величко, О. И. (род. 1953)
Опубликовано: Минск , 1988
Физические характеристики: 24, [1] с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КРЕМНИЙ
ЛЕГИРОВАНИЕ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ПРИМЕСИ
ДИФФУЗИЯ
ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ
ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
ЧИСЛЕННЫЕ МОДЕЛИ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-rr38575270000
005 20220414180811.0
100 # # $a 20071022d1988 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Процессы атомной диффузии при неравновесном состоянии компонентов дефектно-примесной системы кристаллов кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника  $f Величко Олег Иванович  $g Академия наук БССР, Институт электроники АН БССР 
210 # # $a Минск  $d 1988 
215 # # $a 24, [1] с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография в конце текста 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1657703  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15827  $a ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9565  $a ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-br2203367  $a ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37857  $a ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5212187  $a ЧИСЛЕННЫЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:546.28:621.793.18:519.6(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 27.41  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.17  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-119447  $a Величко  $b О. И.  $g Олег Иванович  $c доктор физико-математических наук, физик  $f род. 1953 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2460032  $a Институт электроники  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar5102567  $a Минский радиотехнический институт  $4 595 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071022  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-rr38575270000&fileID=1311744 

Схожие документы