|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38493630000 |
| 005 |
20071022182943.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 11 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-62430]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071022d1982 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Электронолитография
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Знание
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 64 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Новое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь
$v 8
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 64 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 36280 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Васичев
$b Б. Н.
$g Борис Никитович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071022
$g psbo
|
