Развитие рентгеновской и ионной литографии

Сохранено в:
Шифр документа: 248491, 282255,
Вид документа: Книги
Автор: Васичев, Б. Н.
Опубликовано: М. : Знание , 1988
Физические характеристики: 63, [1] с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Новое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь 9/1988
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr38493570000
005 20210202085831.0
010 # # $d 11 к. 
021 # # $a RU  $b [88-65518] 
100 # # $a 20071022d1988 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Развитие рентгеновской и ионной литографии 
210 # # $a М.  $c Знание  $d 1988 
215 # # $a 63, [1] с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a Новое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь  $v 9/1988 
300 # # $a Библиогр.: с. 45 (11 назв.) 
345 # # $9 46014 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13332068  $a РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13927578  $a ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.75:776 
686 # # $a 32.844.1  $2 rubbk 
700 # 1 $a Васичев  $b Б. Н.  $g Борис Никитович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071022  $g psbo