Кинетика и механизм образования слоев двуокиси и нитрила кремния / Ин-т физики полупроводников Сиб. отд-ния АН СССР. Второй семинар. Физ. химия поверхности монокристалл. полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильева, Л. Л. |
| Издание: | Препринт докл. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1975 |
| Физические характеристики: |
12 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||