Кинетика и механизм образования слоев двуокиси и нитрила кремния / Ин-т физики полупроводников Сиб. отд-ния АН СССР. Второй семинар. Физ. химия поверхности монокристалл. полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильева, Л. Л. |
| Издание: | Препринт докл. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1975 |
| Физические характеристики: |
12 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38474270000 | ||
| 005 | 20071022174033.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [75-63295] |
| 100 | # | # | $a 20071022d1975 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Кинетика и механизм образования слоев двуокиси и нитрила кремния $f Ин-т физики полупроводников Сиб. отд-ния АН СССР. Второй семинар. Физ. химия поверхности монокристалл. полупроводников |
| 205 | # | # | $a Препринт докл. |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1975 |
| 215 | # | # | $a 12 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 11 (9 назв.) |
| 345 | # | # | $9 100 экз. |
| 675 | # | # | $a 541.12 |
| 700 | # | 1 | $a Васильева $b Л. Л. |
| 701 | # | 1 | $a Репинский $b С. М. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071022 $g psbo |