Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Быстров, Ю. А. (1931—2014) |
| Апублікавана: | М. : Радио и связь , 1988 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
165, [2] с. : ил. ; 22 см
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||