|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38267050000 |
| 005 |
20240723135415.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-256-00006-3
$d 65 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-12483]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071004d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
$f Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 165, [2] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 9000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Размеры - Технический контроль
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:658.562.012.7:620.179.1
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar406387
$a Быстров
$b Ю. А.
$g Юрий Александрович
$c доктор технических наук
$c радиоэлектроника
$f 1931—2014
|
| 701 |
# |
1 |
$a Колгин
$b Е. А.
$g Евгений Алексеевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Котлецов
$b Б. Н.
$g Борис Николаевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071004
$g psbo
|
