|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37678190000 |
| 005 |
20240125154049.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 50 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-35696]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070830d1982 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Фото-, электронно- и рентгенорезисты
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 136 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Б-ка технолога радиоэлектрон. аппаратуры
|
| 300 |
# |
# |
$a На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА. Библиогр.: с. 129-135 (155 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 8500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Боков
$b Ю. С.
$g Юрий Сергеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070830
$g psbo
|
