Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС: Дис. в форме науч. докл. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Воронежск. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Боднарь, Д. М. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1990 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37641910000 | ||
| 005 | 20070830184040.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070830d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС $e Дис. в форме науч. докл. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Воронежск. гос. ун-т им. Ленинского комсомола |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 25 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 23-25 (23 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Боднарь $b Д. М. $g Дмитрий Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070830 $g psbo |