Создание твердых планарных источников фосфора для легирования кремния в технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Богдановский, Ю. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37603250000 | ||
| 005 | 20070830182848.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070830d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Создание твердых планарных источников фосфора для легирования кремния в технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электр. техники. Библиогр.: с. 23-24 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Богдановский $b Ю. Н. $g Юрий Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070830 $g psbo |