Физико-химическое рассмотрение роста и травления кристаллов германия и кремния в некоторых газотранспортных процессах: Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. хим. наук / АН СССР. Сиб. отд-ние. Объедин. учен. совет по хим. наукам
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Белый, В. И. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1967 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37223340000 | ||
| 005 | 20070830144158.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [67-84396] |
| 100 | # | # | $a 20070830d1967 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физико-химическое рассмотрение роста и травления кристаллов германия и кремния в некоторых газотранспортных процессах $e Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. хим. наук $f АН СССР. Сиб. отд-ние. Объедин. учен. совет по хим. наукам |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1967 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 610 | 0 | # | $a Химические реакции, транспортные |
| 610 | 0 | # | $a Полупроводники - Получение |
| 700 | # | 1 | $a Белый $b В. И. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070830 $g psbo |