Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий / В. П. Белевский, А. И. Кузьмичев, В. И. Мельник

Сохранено в:
Шифр документа: М211731,
Вид документа: Книги
Автор: Белевский, В. П.
Опубликовано: Киев : о-во «Знание» УССР , 1982
Физические характеристики: 20 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: В помощь лектору и специалисту. Наука, техника, передовой произв. опыт
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr37125770000
005 20070830142316.0
010 # # $d 5 к. 
021 # # $a RU  $b [82-79711] 
100 # # $a 20070830d1982 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий  $f В. П. Белевский, А. И. Кузьмичев, В. И. Мельник 
210 # # $a Киев  $c о-во «Знание» УССР  $d 1982 
215 # # $a 20 с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a В помощь лектору и специалисту. Наука, техника, передовой произв. опыт  $f О-во «Знание» УССР 
300 # # $a Библиогр.: с. 20 (17 назв.) 
345 # # $9 390 экз. 
610 0 # $a Пленки тонкие - Получение 
610 0 # $a Электронно-ионная технология 
675 # # $a 621.793.184 
700 # 1 $a Белевский  $b В. П.  $g Владимир Петрович 
701 # 1 $a Кузьмичев  $b А. И.  $g Анатолий Иванович 
701 # 1 $a Мельник  $b В. И.  $g Виталий Игнатьевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070830  $g psbo