|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37123090000 |
| 005 |
20070830142316.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 7 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [72-53298]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070830d1972 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Термодинамические методы расчета равновесия реакций, применяемых в производстве полупроводниковых материалов
$f Моск. ин-т стали и сплавов
$g Под ред. проф. Л. А. Фирсановой
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1972
|
| 215 |
# |
# |
$a 44 с.
$c черт.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 43-44 (18 назв.). Перед загл. авт.: Д. К. Белащенко, С. А. Ершова, Л. А. Фирсанова
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Производство - Физико-химические основы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Белащенко
$b Д. К.
$g Давид Кириллович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Ершова
$b С. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Фирсанова
$b Л. А.
$g Лидия Алексеевна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070830
$g psbo
|
