Лазерный отжиг ионно-легированного кремния: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ437492,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Баязитов, Р. М.
Опубликовано: Казань , 1982
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr37040690000
005 20070828161626.0
021 # # $a RU  $b [82-15341а] 
100 # # $a 20070828d1982 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Лазерный отжиг ионно-легированного кремния  $e (01.04.07)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 
210 # # $a Казань  $d 1982 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a В надзаг.: Казан. гос. ун-т им. В. И. Ульянова-Ленина. Библиогр.: с. 17-18 (18 назв.) 
675 # # $a [539.21+535.21+537.311.33](043.3) 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Баязитов  $b Р. М.  $g Рустэм Махмудович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070828  $g psbo