Исследование электрофизических свойств тестовых МОП структур применительно к ионно-лучевым и ионно-плазменным процессам в технологии создания ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Батулявичюс, А. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1981 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr36981670000 | ||
| 005 | 20070828160200.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070828d1981 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование электрофизических свойств тестовых МОП структур применительно к ионно-лучевым и ионно-плазменным процессам в технологии создания ИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 25 с. |
| 300 | # | # | $a Моск. ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 22-24 (19 назв.). Для служеб. польз. |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Батулявичюс $b А. Б. $g Альбинас Броневич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070828 $g psbo |