Компьютерное моделирование химических и фазовых равновесий применительно к процессам осаждения и легирования полупроводниковых материалов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.04) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранов, С. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
31 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr36844570000 | ||
| 005 | 20070828150549.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070828d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Компьютерное моделирование химических и фазовых равновесий применительно к процессам осаждения и легирования полупроводниковых материалов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $e (02.00.04) $f Моск. ин-т электрон. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 31 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 29-31 (12 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 02.00.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Баранов $b С. Г. $g Сергей Георгиевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070828 $g psbo |