Исследование и разработка процесса осаждения в тлеющем разряде защитных пленок диоксида кремния разложением химических соединений: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Аранович, Г. Л. |
| 出版: | М. , 1981 |
| 實物描述: |
25 с.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||