Исследование и разработка процесса осаждения в тлеющем разряде защитных пленок диоксида кремния разложением химических соединений: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Аранович, Г. Л. |
| Publicado: | М. , 1981 |
| Descripción Física: |
25 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||