Исследование и разработка процесса осаждения в тлеющем разряде защитных пленок диоксида кремния разложением химических соединений: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Аранович, Г. Л. |
| Published: | М. , 1981 |
| Physical Description: |
25 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||