Исследование и разработка процесса осаждения в тлеющем разряде защитных пленок диоксида кремния разложением химических соединений: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Аранович, Г. Л. |
| Апублікавана: | М. , 1981 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
25 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||