![](/themes/root/images/default-cover.png)
Поведение дефектов в слоях кремния, амморфизованных имплантацией ионов переходных элементов / Антоненко А. Х., Двуреченский А. В., Дравин В. А.
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Антоненко, А. Х. |
Опубликовано: | Новосибирск , 1983 |
Физические характеристики: |
28 с. : черт.
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Препринт
1-83 |
Предмет: |
00000nam0a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr36216430000 | ||
005 | 20070808162410.0 | ||
010 | # | # | $d Б. ц. |
021 | # | # | $a RU $b [83-45083] |
100 | # | # | $a 20070808d1983 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Поведение дефектов в слоях кремния, амморфизованных имплантацией ионов переходных элементов $f Антоненко А. Х., Двуреченский А. В., Дравин В. А. |
210 | # | # | $a Новосибирск $d 1983 |
215 | # | # | $a 28 с. $c черт. |
225 | 2 | # | $a Препринт $f АН СССР. Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников $v 1-83 |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 25-26 (31 назв.) |
345 | # | # | $9 150 экз. |
610 | 0 | # | $a Кремний - Дефекты |
675 | # | # | $a 537.311.322:539.1.04 |
700 | # | 1 | $a Антоненко $b А. Х. $g Александр Харитонович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070808 $g psbo |