Поведение дефектов в слоях кремния, амморфизованных имплантацией ионов переходных элементов / Антоненко А. Х., Двуреченский А. В., Дравин В. А.

Сохранено в:
Шифр документа: М237638,
Вид документа: Книги
Автор: Антоненко, А. Х.
Опубликовано: Новосибирск , 1983
Физические характеристики: 28 с. : черт.
Язык: Русский
Серия: Препринт 1-83
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr36216430000
005 20070808162410.0
010 # # $d Б. ц. 
021 # # $a RU  $b [83-45083] 
100 # # $a 20070808d1983 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Поведение дефектов в слоях кремния, амморфизованных имплантацией ионов переходных элементов  $f Антоненко А. Х., Двуреченский А. В., Дравин В. А. 
210 # # $a Новосибирск  $d 1983 
215 # # $a 28 с.  $c черт. 
225 2 # $a Препринт  $f АН СССР. Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников  $v 1-83 
300 # # $a Библиогр.: с. 25-26 (31 назв.) 
345 # # $9 150 экз. 
610 0 # $a Кремний - Дефекты 
675 # # $a 537.311.322:539.1.04 
700 # 1 $a Антоненко  $b А. Х.  $g Александр Харитонович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070808  $g psbo