|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr36076480000 |
| 005 |
20190827123058.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 15 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [91-11414]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070808d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Высокочастотные источники ионов для ионной технологии
$f Ананьев О. А., Дьяченко [! Дьячков] Б. А., Павлов В. Я.
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$c ИФ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 32, [1] с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препр.
$f АН УССР, Ин-т физики
$v № 15
|
| 300 |
# |
# |
$a На обл. авт. не указаны. - Библиогр.: с. 29-33 (53 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Ионные источники высокочастотные
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронно-ионная технология
|
| 675 |
# |
# |
$a 537.534.2+621.7/.9.048.7
|
| 700 |
# |
1 |
$a Ананьев
$b О. А.
$g Олег Алексеевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Дьячков
$b Б. А.
$g Борис Александрович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Павлов
$b В. Я.
$g Владимир Яковлевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070808
$g psbo
|
