Бескомпенсаторная эллипсометрия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.07) / Ленингр. ин-т точ. механики и оптики
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Алексеев, С. А. |
| Wydane: | Л. , 1985 |
| Opis fizyczny: |
16 с.
|
| Język: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35903580000 | ||
| 005 | 20070808145554.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070808d1985 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Бескомпенсаторная эллипсометрия $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.11.07) $f Ленингр. ин-т точ. механики и оптики |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-16 (12 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.11.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Алексеев $b С. А. $g Сергей Андреевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070808 $g psbo |