|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr35801700000 |
| 005 |
20070808140344.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070808d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование процесса и разработка методики сквозного проектирования на ЭВМ изображений элементов полупроводниковых структур
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.13.12)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т электронного машиностроения. Библиогр.: с. 25-26 (11 назв.). Для служ. пользования
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.3.049.77.001.2/778
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.12
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Аксенов
$b Е. И.
$g Евгений Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070808
$g psbo
|
