Обработка поверхности кристаллических материалов низкоэнергетическими ионными пучками азота: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.07) / Моск. ин-т электромашиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ермеков, Г. А. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||