
Разработка процессов гетероэпитаксии структур нитрида галлия и кремния на сапфире: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Saved in:
Format: | |
---|---|
Main Author: | Евмененко, В. А. |
Published: | М. , 1982 |
Physical Description: |
20 с.
|
Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|