Оборудование для ионной имплантации: (Учеб. пособие по курсу "Проектирование элион. оборудования")
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дымович, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1981 |
| Физические характеристики: |
63 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35087060000 | ||
| 005 | 20070802191800.0 | ||
| 010 | # | # | $d 17 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [82-33086] |
| 100 | # | # | $a 20070802d1981 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Оборудование для ионной имплантации $e (Учеб. пособие по курсу "Проектирование элион. оборудования") |
| 210 | # | # | $a М. $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 63 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электр. техники |
| 345 | # | # | $9 150 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.001.2(075.8) |
| 700 | # | 1 | $a Дымович $b В. И. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070802 $g psbo |