Обзор методов диффузии, используемых для изготовления интегральных схем
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дуффу, М. С. |
| Опубликовано: | М. : ЦНИИтехн.-экон. исследований и науч. информации , 1967 |
| Физические характеристики: |
26 с. : илл.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Пер. иностр. литературы. Серия: Технология и организация производства
Пер. № 60/ЭТ-2437 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||