Газофазная микрометаллургия полупроводников

Сохранено в:
Шифр документа: АН845972, АУ476676,
Вид документа: Книги
Автор: Дорфман, В. Ф.
Опубликовано: М. : Металлургия , 1974
Физические характеристики: 190 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr34912790000
005 20070802185447.0
010 # # $d 1 р. 6 к. 
021 # # $a RU  $b [74-31506] 
100 # # $a 20070802d1974 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Газофазная микрометаллургия полупроводников 
210 # # $a М.  $c Металлургия  $d 1974 
215 # # $a 190 с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a Список лит.: с. 179-189 (300 назв.) 
345 # # $9 2100 экз. 
610 0 # $a Полупроводниковые пленки - Получение 
675 # # $a 621.315.592-416.002:669.054 
700 # 1 $a Дорфман  $b В. Ф.  $g Вениамин Фриделевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070802  $g psbo