Электроннозомдовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Деркач, В. П. |
| 出版: | Киев : [Ин-т кибернетики] , 1973 |
| 實物描述: |
34 с. : ил. ; 20 см
|
| 語言: | Русский |
| 叢編: |
Препринт
73-41 |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||