Электроннозомдовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Деркач, В. П. |
| Wydane: | Киев : [Ин-т кибернетики] , 1973 |
| Opis fizyczny: |
34 с. : ил. ; 20 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Препринт
73-41 |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||