Электроннозомдовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Деркач, В. П. |
| Publicado: | Киев : [Ин-т кибернетики] , 1973 |
| Descripción Física: |
34 с. : ил. ; 20 см
|
| Lenguaje: | Русский |
| Colección: |
Препринт
73-41 |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||