Исследование и разработка измерительных средств для контроля геометрических параметров изделий микроэлектроники: (05.11.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Сев.-Зап. заоч. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилов, А. А. |
| Опубликовано: | Л. , 1973 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34397030000 | ||
| 005 | 20070727174321.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [73-17759а] |
| 100 | # | # | $a 20070727d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка измерительных средств для контроля геометрических параметров изделий микроэлектроники $e (05.11.01) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Сев.-Зап. заоч. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 15 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 14-15 (9 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.11.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Данилов $b А. А. $g Александр Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |