|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34393860000 |
| 005 |
20230503152302.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [79-82657]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1979 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионное травление микроструктур
$f Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Сов. радио
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 103 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Массовая б-ка инженера. Электроника
$v 21
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 95―102 (158 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 8000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 686 |
# |
# |
$a 32.844
$2 rubbk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Данилин
$b Б. С.
$g Борис Степанович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Киреев
$b В. Ю.
$g Валерий Юрьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
