Физические проблемы создания КНИ-структур методом реактивной ионной имплантации / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилин, А. Б. |
| Издание: | Препр. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1989 |
| Физические характеристики: |
35 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||