Физические проблемы создания КНИ-структур методом реактивной ионной имплантации / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилин, А. Б. |
| Издание: | Препр. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1989 |
| Физические характеристики: |
35 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34393220000 | ||
| 005 | 20201124145139.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [89-40714] |
| 100 | # | # | $a 20070727d1989 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физические проблемы создания КНИ-структур методом реактивной ионной имплантации $f АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
| 205 | # | # | $a Препр. |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 35 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 34-35 (23 назв.) |
| 345 | # | # | $9 75 экз. |
| 675 | # | # | $a 539.2:539.1.04 |
| 700 | # | 1 | $a Данилин $b А. Б. |
| 701 | # | 1 | $a Мордкович $b В. Н. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |