Получение легированных кремнеземных пленок и использование их для создания тонких диффузионных слоев в кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.11)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Горячева, Т. Ф. |
| Опубликовано: | Л. , 1979 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33845830000 | ||
| 005 | 20070720184632.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070720d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Получение легированных кремнеземных пленок и использование их для создания тонких диффузионных слоев в кремнии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.17.11) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: АН СССР. Ин-т химии силикатов им. И. В. Гребенщикова. Библиогр.: с. 17 (6 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.17.11 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Горячева $b Т. Ф. $g Татьяна Федоровна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070720 $g psbo |