Волна термогенерации плазмы в кремнии при нестационарном разогреве токами двойной инжекции

Сохранено в:
Шифр документа: 216895,
Вид документа: Книги
Автор: Горбатюк, А. В.
Опубликовано: Л. , 1987
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Серия: Препр. 1171
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr33707630000
005 20210430111705.0
010 # # $d Беспл. 
021 # # $a RU  $b [87-84919] 
100 # # $a 20070723d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Волна термогенерации плазмы в кремнии при нестационарном разогреве токами двойной инжекции 
210 # # $a Л.  $d 1987 
215 # # $a 17 с. 
225 2 # $a Препр.  $f АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе  $v 1171 
300 # # $a Библиогр.: с. 17 (5 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Плазма (физ.) 
610 0 # $a Кремний 
675 # # $a 621.315.592 
700 # 1 $a Горбатюк  $b А. В. 
701 # 1 $a Панайотти  $b И. Е. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070723  $g psbo