|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr33469830000 |
| 005 |
20070720134042.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-36462]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070720d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 112 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Массовая б-ка инженера «Электроника»
$v 26
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 105-108 (66 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 9000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Технический контроль - Оптические методы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:658.562.3.012.7:535.24
|
| 700 |
# |
1 |
$a Глудкин
$b О. П.
$g Олег Павлович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Густов
$b А. Е.
$g Александр Евгеньевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070720
$g psbo
|
