Искусственная эпитаксия - новое направление в кристаллизации пленок и в технологии микроэлектроники и вычислительной техники

Сохранено в:
Шифр документа: 215933,
Вид документа: Книги
Автор: Гиваргизов, Е. И.
Опубликовано: Л. , 1987
Физические характеристики: 40 с.
Язык: Русский
Серия: Препр. № 3
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr33362610000
005 20220225084655.0
010 # # $d 20 к. 
021 # # $a RU  $b [87-83176] 
100 # # $a 20070719d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Искусственная эпитаксия - новое направление в кристаллизации пленок и в технологии микроэлектроники и вычислительной техники 
210 # # $a Л.  $d 1987 
215 # # $a 40 с. 
225 2 # $a Препр.  $f АН СССР, Ин-т кристаллографии им. А. В. Щубникова  $v № 3 
300 # # $a Библиогр.: с. 37-40 (58 назв.) 
345 # # $9 150 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14181336  $a ГРАФОЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.315.592-416.002 
700 # 1 $a Гиваргизов  $b Е. И.  $g Евгений Инвиевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070719  $g psbo