Исследование процессов плазмохимической обработки кремниевых пластин в производстве интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Федоров, Н. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1979 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32814900000 | ||
| 005 | 20070717183810.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070717d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процессов плазмохимической обработки кремниевых пластин в производстве интегральных схем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 19-20 (11 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Федоров $b Н. Н. $g Николай Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070717 $g psbo |