|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr32738760000 |
| 005 |
20070716153059.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 97 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [70-23689]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070716d1970 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов
|
| 205 |
# |
# |
$a Изд. 3-е, переработ.
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергия
$d 1970
|
| 215 |
# |
# |
$a 296 с.
$c илл.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 286-295 (300 назв.). 2-е изд. вышло под загл.: Обработка поверхности...
|
| 345 |
# |
# |
$9 7000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Качество поверхности
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382-408+[016.3]
|
| 700 |
# |
1 |
$a Файнштейн
$b С. М.
$g Семен Меерович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070716
$g psbo
|
