Количественные методы субмикронной электронно-лучевой диагностики: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.04.01) / Рос. АН, ЦКБ уникал. приборостроения

Сохранено в:
Шифр документа: 179716/92,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ушаков, Н. Г.
Опубликовано: Черноголовка , 1992
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr32697040000
005 20070716153750.0
100 # # $a 20070716d1992 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Количественные методы субмикронной электронно-лучевой диагностики  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e (01.04.01)  $f Рос. АН, ЦКБ уникал. приборостроения 
210 # # $a Черноголовка  $d 1992 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 18-22 (39 назв.) 
686 # # $a 01.04.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Ушаков  $b Н. Г.  $g Николай Георгиевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070716  $g psbo