Количественные методы субмикронной электронно-лучевой диагностики: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.04.01) / Рос. АН, ЦКБ уникал. приборостроения
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Ушаков, Н. Г. |
Опубликовано: | Черноголовка , 1992 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr32697040000 | ||
005 | 20070716153750.0 | ||
100 | # | # | $a 20070716d1992 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Количественные методы субмикронной электронно-лучевой диагностики $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук $e (01.04.01) $f Рос. АН, ЦКБ уникал. приборостроения |
210 | # | # | $a Черноголовка $d 1992 |
215 | # | # | $a 22 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 18-22 (39 назв.) |
686 | # | # | $a 01.04.01 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Ушаков $b Н. Г. $g Николай Георгиевич |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070716 $g psbo |