Автоматизация проектирования технологии производства микроэлектронных устройств с использованием экспертных знаний: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.12) / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Усов, Ю. И. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1989 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32644760000 | ||
| 005 | 20070716151237.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070716d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Автоматизация проектирования технологии производства микроэлектронных устройств с использованием экспертных знаний $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.12) $f Воронеж. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-16 (18 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Усов $b Ю. И. $g Юрий Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070716 $g psbo |