Управление электрофизическими и структурными свойствами поликремния отжигом CO2-лазером и имплантацией Ar+, O+: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / Вильнюс. гос. ун-т им. В. Капсукаса
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Урбялис, А. Й. |
| Опубликовано: | Вильнюс , 1986 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32611730000 | ||
| 005 | 20220318114952.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070716d1986 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a LT |
| 200 | 1 | # | $a Управление электрофизическими и структурными свойствами поликремния отжигом CO2-лазером и имплантацией Ar+, O+ $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) $f Вильнюс. гос. ун-т им. В. Капсукаса |
| 210 | # | # | $a Вильнюс $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-22 (20 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Урбялис $b А. Й. $g Артурас Йонушович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070716 $g psbo |