Исследование технологии катодного распыления тантала с автодесорбцией газовых примесей: (301): Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тупиков, Ю. Г. |
| Опубликовано: | Л. , 1969 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32426900000 | ||
| 005 | 20070710144722.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [69-33778] |
| 100 | # | # | $a 20070710d1969 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование технологии катодного распыления тантала с автодесорбцией газовых примесей $e (301) $e Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $f Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1969 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 686 | # | # | $a 301 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Тупиков $b Ю. Г. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070710 $g psbo |