Имплантационное легирование полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Титов, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1974 |
| Физические характеристики: |
40 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Ин-т атомной энергии им. И. В. Курчатова
ИАЭ-2444 |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32061870000 | ||
| 005 | 20070704194453.0 | ||
| 010 | # | # | $d 22 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [75-78652] |
| 100 | # | # | $a 20070704d1974 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Имплантационное легирование полупроводников |
| 210 | # | # | $a М. $d 1974 |
| 215 | # | # | $a 40 с. $c черт. |
| 225 | 2 | # | $a Ин-т атомной энергии им. И. В. Курчатова $v ИАЭ-2444 |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 35-39 (120 назв.) |
| 345 | # | # | $9 160 экз. |
| 675 | # | # | $a 537.311.322 |
| 700 | # | 1 | $a Титов $b В. В. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070704 $g psbo |